장비사업
Equipment Business
디스플레이
설비 개요
| 개요 | OLED Display 패널 생산을 위한 N2 분위기에서의 Glass 이송 물류 설비 설계/제작/제조 기술 확보 |
|---|---|
| 사이즈 | 다양한 패널의 Size(2G~10.5G) 대응 가능 |
| 구성 | Transfer Module, Passage, Buffer, Flip Module |
주요 제품
| ITEM | Specification |
|---|---|
| 대응 Glass Size | 2G~10.5G |
| 공급 Gas | N2 by Purifier |
| N2 Condition | H2O/O2, ≤1ppm |
| Leak Rate | ≤0.05Vol%h, ISO10648-2 |
| Chamber material | SUS304/E.P |
| Laminar Flow | EFU, Down flow/side flow |
설비 구성
보유 기술
설비 개요
| 개요 | OLED/LCD Display 패널 생산을 위한 진공내에서의 Glass 이송 물류 설비 설계/제작/제조 기술 확보 |
|---|---|
| 사이즈 | 다양한 패널의 Size(2G~10.5G)대응 가능 |
| 구성 | Transfer Module, Load Lock, Passage, Buffer, Flip Module |
주요 제품
| ITEM | Specification |
|---|---|
| 대응 Glass Size | 2G~10.5G |
| 공급 Gas | N2 or CDA |
| Pressure | 10-2~10-7 Torr |
| Leak Rate | ≥1.0mTorr/min |
| Chamber material | SUS304/E.P or Aluminum |
설비 구성
보유 기술
